Мікроаналіз (мікроскопічний аналіз) являє собою дослідження структури металу при великих збільшеннях з допомогою спеціального металографічного мікроскопа, призначеного для вивчення металу.

Метали і сплави піддаються микроанализу з метою дослідження загальної структури (типу структурних складових, їх величини, форми і розташування), наявності неметалічних включень і різних дефектів (крупне зерно, перегрів, пережоги тощо), контролю якості теплової обробки металу.

Використовується для дослідження металів металломикроскоп дозволяє розглядати предмет у відбитому світлі (на відміну від біологічного мікроскопа, де предмет проглядається в світлі, що проходить).

На рис. 18, а показано зовнішній вигляд вітчизняного мікроскопа МІМ-6 та його схема (18, б).

Основними частинами металломикроскопа є:

• лампа 1, яка живиться струмом від міської мережі через трансформатор 9.

• Світло від лампи проходить через лінзу 2, від якої через світлофільтри і діафрагму (обмежувач)4 потрапляє на напівпрозору скляну пластинку, розташовану у верхній частині мікроскопа під предметним столиком5.

• Промінь світла відбивається від пластинки і, пройшовши об'єктив (лінзу, розташовану біля отвори під предметним столиком, на якому встановлюється досліджуваний об'єкт — шліф), падає на площину шліфа.

• Від шліфа світловий промінь відбивається, проходить лінзу — окуляр 3 і направляється в око спостерігача.

При фотографуванні промінь світла від шліфа спрямовується на фотопластинку 8.

Регулювання фокусу досягається підйомом або опусканням предметного столика 5 з допомогою гвинтів 6 (більш точне регулювання) і 7 (більш грубе).

При травленні окремі частини зерна і різні структурні складові труяться по-різному (рис. 19).

Ті складові, які протравятся сильніше, утворюють на поверхні шліфа западини. Якщо промінь потрапить в таку западину, то він відіб'ється в сторону і не потрапить в об'єктив і в око спостерігача. Це місце буде здаватися темною плямою.

Застосовувані в даний час оптичні мікроскопи, що дозволяють виявляти частинки розміром до 0,2 мікрона при максимально можливе збільшення до 1500-2000 раз.

Найбільше збільшення можна отримати за допомогою електронного мікроскопа, максимальне збільшення якого становить 100 тис. разів.

Структура металу при перегляданні її електронним мікроскопом, так само як і оптичним мікроскопом, буде проявлятися у вигляді світлих і темних місць.